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陶瓷研磨盤

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    產品描述

    用于半導體硅片研磨、單晶硅的加工領域等。

    產品特點

    •         目前,采用陶瓷研磨盤研磨半導體硅片是最優越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進行
    • 研磨,通過改善研磨工藝(磨盤材質、研磨液、研磨壓力及研磨轉速等)來提高研磨片的質量;尤其是使用陶瓷
    • 盤代替鑄鐵盤,避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染,減少了金屬離子的引入,可減少硅片的后續加工量,
    • 縮短了后續工序(腐蝕)時間,提高了生產效率,而且減少了硅片加工的損耗,大大地提高了硅片的利用率。

    技術指標

    物理指標 

    性能 順鵬陶瓷
    國內水平 國外水平
    密度(g/cm3)
    3.97
    3.81-3.93
    3.9-3.94
    純度(%)
    99.9 98-99.8 99.5-99.9
    維氏硬度(GPa)
    17
    14-15
    16-17.5
    三點抗彎強度(MPa)
    520 300-350
    330-400


    產品規格

    ∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、園環(尺寸可以定制)
    我司還可以生產以下規格的高端陶瓷:
    1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板;
    2、1000×45×45mm以下的導軌;
    3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等
    4、各種形狀的異形件定制產品

    順鵬優勢

      我們的產品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國家,順鵬可提供耐磨陶瓷技術解決方案,將提供適合您要求的產品和優質服務。

    網址:www.027whsh.com.聯系方式:13879937296/0799-2181608。

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